广州潽拓光电科技有限公司——OSAKA分子泵
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OSAKA TGkine-B系列实现了控制器和电源的一体化。不需要输出电缆和控制器机架,减少的设备的占地面积。继承了TG-M系列的特点,通过转子的zui优化设计,进一步提高了排气性能。
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立式涡轮分子泵的优点是:真空系统的结构简单,在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构;其次是泵内只有一组涡轮叶片,因而价格较低廉
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分子泵的冷却方式有三种:自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵,在没有气体负载的情况下,可以采用自然冷却;较大的分子泵或者有一定的气体负载时,需要选择强制风冷(风扇冷却);对于有些负载很大的应用(比如CVD),或者不方便使用风扇的环境(如辐射环境),需要采取水冷。